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        產品中心

        PRODUCTS CNTER

        當前位置:首頁產品中心管式爐系列CVD/PECVD系統化學氣相沉積爐(CVD系統)

        化學氣相沉積爐(CVD系統)

        產品簡介

        這款CVD系統集真空管式爐,多通道氣路系統和真空系統組成,可根據用戶需要設計生產(有雙溫區、三溫區、多溫區),可預抽真空(有高真空、低真空),通多種氣氛(供氣系統有質子流量器和浮子流量控制器)。性能可靠??刂齐娐愤x用模糊PID程控技術,具有控溫精度高,溫沖幅度小,性能可靠,簡單易操作等特點。

        產品型號:
        更新時間:2024-02-28
        廠商性質:生產廠家
        訪問量:13453
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         一、產品應用

          高真空CVD系統是一款專業在沉底材料上生長高質量石墨烯、碳納米管、碳化硅的設備,廣泛應用于在半導體、納米材料、碳纖維、碳化硅、鍍膜等新材料新工藝領域。 

        CVD系統

        CVD系統

         

        二、產品特點

          高真空CVD系統主要由高溫腔體、石英管、石英支架、氣路系統、分子泵機組、自動化控制系統、冷卻系統等組成。

        1、沉底材料可采用銅箔、石墨等;

        2、生長腔體采用進口高純石英管,配石英支架、為石墨烯等材料的生長提供潔凈環境;

        3、爐膛采用進口高純氧化鋁多晶體纖維,不易掉粉、壽命長且保溫性能好。加熱絲采用優質摻鉬鐵鉻鋁合金加熱絲,溫場均勻,能耗低;

        4、密封法蘭均采用不銹鋼材質,配水冷套,可連續長時間工作;

        5、氣路系統采用兩路質量流量計(可拓展多路),配預混系統;

        6、氣體種類: He/Ar、C2H2、NH3、N2, H2、PH3、GeH4、B2H6;

        7、溫度、氣體、真空、冷卻水等通過PLC控制,通過PC實時控制和顯示相關的實驗參數,自動保存實驗參數,也可采用手動控制; 

        8、系統采用集成化設計,控制系統、混氣罐、質量流量計等均內置在箱體內部,占地面積小。整體安裝四個可移動輪子,方便整體移動。

        三、技術參數 

         

        型號

         

         

        HTF1200-2.5/20-2F-LV

         

        HTF1200-5/20-4F-HV

         

        HTF1200-6/40-2M-LV 

         

         

        HTF1200-8/40-4M-HV 

         

         

        設計溫度(℃)

         

        1200 

         

         

        1200 

         

         

        1200 

         

         

        1200 

         

         

        控溫精度(℃)

         

        ±1 

         

         

        ±1  

         

         

        ±1  

         

         ±1 

         

         加熱區直徑(mm)

         

        25 

         

         

        50 

         

         

        60 

         

         

        80 

         

         

         加熱區長度(mm)

         

        200 

         

         

        200 

         

         

        400 

         

         

        400 

         

         

         加熱管長度(mm)

         

        450 

         

         

        450 

         

         

        1000 

         

         

        1000 

         

         

         恒溫區長度(mm)

         

        80 

         

         

        80 

         

         

        150 

         

         

        150 

         

         

        額定電壓(V)

         

        220 

         

         

        220 

         

         

        220 

         

         

        220 

         

         

        額定功率(KVA)

         

        1.2 

         

         

        1.2 

         

         

         

         

         

         

        真空機組

         

        HTF-101 

         

         

        HTF-103 

         

         

        HTF-101 

         

         

        HTF-103 

         

         

        供氣系統

         

        HTF-2F 

         

         

        HTF-4F 

         

         

        HTF-2M 

         

         

        HTF-4M 

         

         

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